Cible de pulvérisation à 80 % de tungstène
La première étape consiste à nettoyer avec un chiffon doux non pelucheux imbibé d’acétone ;
La deuxième étape est similaire à la première étape, utilisez de l’alcool pour nettoyer ;
La troisième étape consiste à nettoyer à l'eau déionisée. Après le nettoyage à l'eau déionisée, placez la cible dans un four pour la sécher à 100 degrés Celsius pendant 30 minutes. Il est recommandé d'utiliser un « chiffon non pelucheux » pour nettoyer les cibles en oxyde et en céramique.
Cibles de pulvérisation à 99,95 % de tungstène
La quatrième étape consiste à rincer la cible avec du gaz argon à haute pression et à faible teneur en humidité pour éliminer toutes les particules d’impuretés susceptibles de provoquer un arc électrique dans le système de pulvérisation cathodique.
Remarque : lorsque vous utilisez la cible, veuillez porter des gants de protection propres et non pelucheux et évitez absolument tout contact direct avec la cible avec vos mains.
Cibles de pulvérisation à 99,95 % W
Afin d'éviter les courts-circuits et les arcs électriques causés par des cavités impures pendant le processus de pulvérisation, il est nécessaire d'éliminer périodiquement les matières pulvérisées accumulées au centre et sur les deux côtés de la piste de pulvérisation. Cela aide également les utilisateurs à fonctionner en continu à la densité de puissance maximale. Effectuer la pulvérisation.
