Cibles de pulvérisation de tungstène
3. Pour le stockage
En termes de technologie de stockage, le développement de disques durs haute densité et grande capacité nécessite une grande quantité de matériaux de film magnétorésistif géant. Les films composites multicouches CoF~Cu sont désormais largement utilisés comme structures de film magnétorésistif géant. La cible en alliage TbFeCo requise pour les disques magnéto-optiques est encore en cours de développement. Les disques magnéto-optiques fabriqués avec ce matériau ont les caractéristiques d'une grande capacité de stockage, d'une longue durée de vie et peuvent être effacés et écrits à plusieurs reprises sans contact.
Cibles de pulvérisation W
Développement de matériaux cibles :
Différents types de matériaux à couche mince pulvérisée sont largement utilisés dans les circuits intégrés à semi-conducteurs (VLSI), les disques optiques, les écrans plats et les revêtements de surface des pièces. Depuis les années 1990, le développement simultané des cibles de pulvérisation et de la technologie de pulvérisation a largement répondu aux besoins de développement de divers nouveaux composants électroniques.
Cible de pulvérisation en tungstène et titane
